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电感测微仪的仪器校正技术

发布时间:2019-10-06 阅读:54

随着科学技术的发展,对计量技术的要求越来越高,尤其是当代宇航和天文等尖端技术的发展,要求计量向纳米技术发展,纳米计量和标定技术成为目前各学科必须解决的问题。因此国内外仪器计量部门都在研究和生产各种纳米级准确度的计量仪器,并探讨其标定和校正方法,以满足科学技术发展的需要。近几年来,世界各国相继研制成功了各种纳米量级的测微仪,它们包括激光干涉仪、电容测微仪和电感测微仪,这些测微仪虽然已经在许多学科及部门得到了广泛应用,有的测微仪的准确度到底如何?就目前的方法是无法进行测定的。另外,还有一些微位移进给器件,例如压电陶瓷等,虽然应用范围很广,但其非线性和位移准确度如何?有时也没有可靠的检测手段。

 

一、基于有基准的仪器校正技术

有基准方法是传统的对比仪器校正,此方法在仪器计量部门对各种新设备的标定、旧设备的校正以及各个学科的实际工程技术测量中都得到了广泛的应用。

有基准仪器校正法的基本原理是:对于任何被测量新的或在用过程中的检测设备,为了确定其测量结果的可靠性,通常采用比被测量准确度更高等级的检测设备,准确地标定其在测量范围内的测量准确度、分辨力、稳定性等性能指标。从该方法的原理看出,对于长度计量的位移传感器的仪器校正技术,必须解决两个关键性问题:一是具有更高等级准确度、更高分辨力的测微系统;二是能够提供足够小的达到测微系统分辨力的微位移机构。只有满足了上述两个条件,才能真正对测微系统的分辨力、准确度、稳定性等性能指标给予的评价。对于具有有效测量面积位移传感器的测微系统,采用这种原理进行标定的方法主要有以下几种:

1、小角度检查仪(正弦尺)标定方法

用小角度检查仪和标准量块对电容测微仪的标定方法是80年代末期,仪器计量部门针对具有有效测量面积的电容和电感测微仪而制定的一种标定方法,其具体的工作原理如图1-1所示。

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